隨著電子技術的不斷發(fā)展，對于精密微?。{米級）的微電子器件，要去測試它的基本電學性能（如電流、電壓、阻抗等） 時配有顯微鏡的高精度探針臺能夠提供良好的電測環(huán)境。通過顯微鏡和CCD將待測器件放大，用高精度微探針對待測器件進 行扎針再外接電學測試儀表進行測試和分析。此外，對于一些怕氧化、需要保存在真空中的器件，即便在電學測試的過程中 也需要將樣品置于真空環(huán)境中，因此室溫真空探針臺是這種類型測試的不er選擇。

      室溫真空探針臺能夠為半導體芯片的電學參數測試提供一個室溫真空測試環(huán)境，通過外接不同的電學測量儀器，可完成集成 電路的電壓、電流、電阻以及IV曲線等參數檢測，用于室溫真空環(huán)境下的芯片、晶圓和器件的非破壞性電學測試。

隨著電子技術的不斷發(fā)展，對于精密微?。{米級）的微電子器件，要去測試它的基本電學性能（如電流、電壓、阻抗等） 時配有顯微鏡的高精度探針臺能夠提供良好的電測環(huán)境。通過顯微鏡和CCD將待測器件放大，用高精度微探針對待測器件進 行扎針再外接電學測試儀表進行測試和分析。此外，對于一些怕氧化、需要保存在真空中的器件，即便在電學測試的過程中 也需要將樣品置于真空環(huán)境中，因此室溫真空探針臺是這種類型測試的不er選擇。

      室溫真空探針臺能夠為半導體芯片的電學參數測試提供一個室溫真空測試環(huán)境，通過外接不同的電學測量儀器，可完成集成 電路的電壓、電流、電阻以及IV曲線等參數檢測，用于室溫真空環(huán)境下的芯片、晶圓和器件的非破壞性電學測試。